经过了五个多月的建设，工业机器人研究所的高精度精密测量实验室已经顺利完工，于2010年6月20日正式投入使用。该实验室为恒温、恒湿、无尘的半封闭式实验室。室内相对湿度控制在45%到55%，温度可以稳定在20℃±1℃，每小时温度变化不超过0.5℃。目前实验室拥有德国蔡司公司的CONTURA G2高精度三座标测量机（图1）和美国API激光跟踪仪（图2），两台高测量精度精密仪器。

　　CONTURA G2高精度三座标测量机测量范围为1000mm X 1200mm X 600mm。出厂要求测量精度在0.0019+L/300mm，扫描精度为0.0038mm/68mmsec。经过实际安装调试后，测量Ø30校正球不准定度在0.0008mm，扫描Ø30mm校正球的不准定度为0.0018mm，扫描Ø50mm环规不确定度为0.0008mm。该机可用于精密零件检测以及连续接触式扫描，并可以实现逆向造型和IGS输出等。

　　美国API激光跟踪仪的测量距离可达到30米，测量精度0.005mm/m，它主要用于大型装配件的动态检测。例如，它可以用于标定机器人的定位精度、重复定位精度、以及多轴联动机器人各关节的角度、机器人与变位机的相对位置关系、装配后机器人各部位尺寸的检测等。

　　相信随着高精度精密测量实验室的落成，工研院工业机器人研究所的发展将会更上一层楼。